- лазерный эллипсометр
-
2.3.6 лазерный эллипсометр: Прибор оптического неразрушающего контроля, предназначенный для измерения толщины и (или) показателя преломления прозрачных пленок поляризационным методом
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации. academic.ru. 2015.